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短波紅外窄帶濾光片是窄帶濾光片的一種類別,我們都知道窄帶濾光片的主要作用是對光進(jìn)行光譜選擇,使需要的光通過,不需要的波長光截止,它作為濾光和選擇譜線的主要器件,有著廣泛的應(yīng)用。光學(xué)元件設(shè)計技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種可滿足80K低溫環(huán)境使用的1240nm短波紅外窄帶濾光片短波紅外窄帶濾光片在光學(xué)分析儀器、光學(xué)探測器方面都有廣闊的應(yīng)用前景,主要用于對地成像觀測和光譜分析監(jiān)測,我國高分辨率對地觀測系統(tǒng)重大專項,也對短波窄帶濾光片提出了研發(fā)需求。
大視場紅外多光譜掃描儀用短波紅外窄帶濾光片,要求通帶平均透過率高、抑制帶截止深度深、通帶波紋系數(shù)小、截止范圍寬,可適用于80K低溫和地面環(huán)境條件,具有高可靠性和高穩(wěn)定性。
由于短波紅外窄帶濾光片是封裝在探測器前使用,工作環(huán)境特殊,其需滿足從低溫極限值80K到高溫極限值80℃的瞬間溫度沖擊,采用常規(guī)方法制備濾光片,會出現(xiàn)低溫下濾光片中心波長漂移和膜層脫落的現(xiàn)象,低溫短波紅外窄帶濾光片一直是光學(xué)薄膜研究的重點。
1240nm短波紅外窄帶濾光片的制備方法,其包括以下步驟:
第一步:真空室清潔;
第二步:鍍膜前基片清洗;
第三步:真空室準(zhǔn)備在真空室電子槍坩堝內(nèi)預(yù)置鍍膜材料;
第四步:濾光片膜層鍍制
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