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我們認(rèn)為好的濾光片不僅需要有滿足客戶需求的透過率,精準(zhǔn)的濾光片中心波長,還需要濾光片膜層牢固度好互相統(tǒng)一才能稱之為好的濾光片,在濾光片鍍膜中鍍膜基片溫度及表面狀態(tài)對薄膜附著強度的影響較大;我們在設(shè)計濾光片膜系和采用不同的濾光片鍍膜沉積方法對同樣的薄膜-基片組合可以得到完全不同的薄膜附著強度,再者我們在控制沉積速度及沉積粒子入射方向等工藝對濾光片薄膜附著強度也會產(chǎn)生影響。
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